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                      沉痛哀悼丨中國真空科學二次離子質譜學開拓者查良鎮教授去世
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                      2022-12-29  閱讀

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                        【康沃真空網】我們沉痛地公告:中國二次離子質譜學開拓者、清華大學查良鎮教授于2022年12月24日凌晨在北京清華長庚醫院因病不幸去世,享年85歲。

                        沉痛哀悼丨中國真空科學二次離子質譜學開拓者查良鎮教授去世

                            查良鎮:清華大學電子工程系教授,博士生導師、政府津貼獲得者,《真空》雜志編委會副主任。查良鎮教授從事真空科學、質譜學研究超過六十年, 取得過多項科研成果。近四十年來,主要致力于二次離子質譜學研究與人才培養,大力推動二次離子質譜(SIMS)技術在中國的應用,是中國二次離子質譜學術會議的創辦者。查良鎮教授還積極推進與國際二次離子質譜學領域的深入交流,是國際標準化組織二次離子質譜標準制定的開拓者。

                        查良鎮教授生于1937年,1954年如愿考入清華大學無線電工程系,也成為第二屆電真空技術專業(管91班)的學生。1958年,查良鎮教授提前留校任教。

                      沉痛哀悼丨中國真空科學二次離子質譜學開拓者查良鎮教授去世

                        ▲ 查良鎮教授參加校摩托車隊訓練照

                        1961年開始,查良鎮、申功運帶領學生薛祖慶、戴平湖等,與沈陽教學儀器廠工程技術人員合作研制氦質譜探漏儀,即利用磁質譜分析的方法探測真空系統的微小漏孔,這種方法的檢測靈敏度是當時最高的,是電子、航天、核技術等領域必不可少的工具。1963年11月研制成功生產樣機,命名為“6104型質譜探漏儀”。1964年2月,“6104型質譜探漏儀”通過了教育部鑒定,其主要技術指標完全滿足設計要求,靈敏度達到了單極磁偏轉型質譜探漏儀的國際先進水平。1964年6月16日,國家計劃委員會、國家經濟委員會和國家科學技術委員會對1400多項全國工業新產品授獎,“6104型質譜探漏儀”獲得一等獎。1964年8月6日,研究成果載入國家科學技術委員會發布的發明記錄。1965年5月,國家科學技術委員會出版了6104型質譜探漏儀的科研報告。

                      沉痛哀悼丨中國真空科學二次離子質譜學開拓者查良鎮教授去世

                        ▲ 1964年,查良鎮教授負責設計的質譜探漏儀獲國家工業新產品一等獎

                        同期,查良鎮、薛祖慶、申功運等人與北京分析儀器廠合作研制成功ZhL-01型四極質譜計,采用白金絲的玻璃型標準漏孔校準。1964年,儀器研制成功,并參加全國儀器展覽會,成為世界最小的分壓強質譜儀。

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                        ▲ ZhL-01型四極質譜計

                        80年代初,國際真空領域中質譜已由原先的真空檢漏發展為表面分析技術,查良鎮教授率領真空教研組與沈陽教學儀器廠合作,研制四極桿二次離子質譜儀(Q-SIMS),并于1986年通過教育部組織的鑒定。

                      沉痛哀悼丨中國真空科學二次離子質譜學開拓者查良鎮教授去世

                        ▲ 1998年查良鎮教授陪同外賓參觀清華大學

                        2011年,國家重大科研儀器設備研制專項啟動,研制地質科學領域專用的飛行時間二次離子質譜(TOF-SIMS),探測單粒宇宙塵中宇宙成因核的豐度特征,旨在突破宇宙塵探測領域。TOF-SIMS是具有廣泛探測性、高分辨率、極靈敏的表面分析技術,可精確測定樣品表面元素的構成,應用十分廣泛。已經退休的查良鎮教授受邀參加其中,這一項目成為近十年他所承擔的最重要工作。

                        作為國際標準化組織(ISO)二次離子質譜專業委員會的專家,鑒于目前國際上普遍在使用的質量分辨定義存在的不足,查良鎮教授在2012年ISO二次離子質譜委員會上提議,重新定義質量分辨,并修改相關術語。這一提議得到國際標準化委員會(ISO)TC201的認可,并在2013年受國際標準化委員會(ISO)TC201的委托,組織中國專家團隊進行立項研究。通過查良鎮及其領導的專家團隊的努力和出色的工作,2017年國際標準化委員會(ISO)TC201對該項目正式立項,制定國際標準:Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for measurement of mass resolution(表面化學分析——二次離子質譜——質量分辨的測定方法)。

                        查良鎮教授榮獲的三項終身成就獎:

                      •    2005年全球華人二次離子質譜學及相關領域研討會在臺灣新竹成功舉行,他獲得“全球華人二次離子質譜終身成就獎”

                      •   2018年10月8-12日,第七屆中國二次離子質譜學術會議在蘇州舉行,他被授予“中國二次離子質譜終身成就獎”

                      •   榮獲“中國真空學會終身成就獎”

                        沉痛哀悼丨中國真空科學二次離子質譜學開拓者查良鎮教授去世

                      ▲ 查良鎮教授榮獲的終身成就獎項

                        在真空及質譜科技領域,查良鎮教授貢獻了一生。1979年10月,中國真空學會成立,并在蘭州召開第一屆全國會員代表大會。中國真空學會名譽理事孟昭英院士在查良鎮教授的陪同下參會。1981年,查良鎮教授發起成立中國真空學會質譜分析和檢漏專業委員會,并擔任多屆主席,參加了這期間的所有真空檢漏工作。

                        查良鎮教授熱愛祖國,提攜后學,艱苦樸素,樂于助人,把畢生精力獻給了國家和科學的偉大事業。作為科研人員,他始終正確把握政治方向,促使自己的人生方向與國家需要緊密結合;作為導師,他為國家培養了眾多優秀人才,大大促進了我國真空事業的發展;作為學者,他勤奮創新,專注于真空與質譜領域的科教工作。查良鎮教授為真空科學事業奮斗終生的精神值得每一位教育和科研工作者學習踐行并傳承發揚。

                        按照查良鎮教授的臨終遺愿,其家人已將遺體捐獻,喪事一切從簡。查良鎮教授的去世使我們失去了一位尊敬的老師和學者,我們永遠懷念他!

                        斯人已去,音容宛在。查良鎮教授一路走好!


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